名称：江苏雷博科学仪器有限公司
认证：工商信息已核实
联系人：销售
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EZ6匀胶机
微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
| 品牌: | LEBO(雷博) |
| 产地: | 江阴 |
| 仪器类型: | 匀胶机 |
产品介绍
产品性能介绍：
◆尺寸较小，结构紧凑，适合直接放于手套箱内操作，最大可旋涂6寸圆形底物
◆彩色触屏控制，界面简单易用，且自带帮助功能，提供使用向导，对初次使用者非常方便
◆提供多步编程旋涂工艺运行，最多可存贮10组10步程序，还可升级自动点胶功能
◆工业级直流马达，转轴旋转稳定，重复性好
◆独特真空系统设计，可靠性高
| 产品参数： ● HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔，带排废功能 ●SUS耐腐蚀不锈钢机身，耐溶剂性PC透明盖子 ●4.3寸全彩触屏人机界面，提供触屏笔操作 ●100W直流无刷电机，单片机控制 ●内腔直径200mm，可处理碎片(小于1cm)至6英寸圆晶底物 ●转速可控范围：100-12000rpm，转速分辨率：1rpm ●加速度可控范围：100-30000rpm/s ●可进行多步程序运行，最多可存贮10组10步程序 ●带一只自动点胶端口，可升级自动点胶功能 ●宽输入电压适用：AC100-230V输入 ●带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全 ●可选择设置开机密码功能，提高设备操作安全性 产品外型尺寸：270(W)*387(D)*258(H) |
