名称：江苏雷博科学仪器有限公司
认证：工商信息已核实
联系人：销售
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EZ4匀胶机
微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
| 型号: | EZ4-S型铝合金外壳 |
| 品牌: | LEBO(雷博) |
| 产地: | 江阴 |
| 仪器类型: | 匀胶机 |
产品介绍
产品性能介绍：
◆结构紧凑、简单易用，可多步操作，性能稳定
◆从手套箱过渡舱内方便进出，最大推荐可旋涂4寸圆形底物
◆文本显示屏，清晰的功能按键，中英文界面可选择
◆程控操作，可提供单步或多步程序旋涂运行，最多可运行5步不同转速及加速度的旋涂程序
◆性能稳定，工业级直流马达，单片机控制，转轴旋转稳定，重复性好，精度高
◆设计新颖，不易进胶堵胶设计，旋涂内腔易拆卸清理更换
| 产品参数说明： ● 耐腐蚀、易清洁注塑内腔，HDPE材料真空吸盘 ●耐溶剂性PC材料透明盖，恒定扭矩定位功能 ●75W直流无刷电机，单片机控制 ●可处理碎片(小于1cm)至4英寸圆晶底物 ●转速可控范围：100-9999rpm，转速分辨率：1rpm ●加速度可控范围：100-9999rpm/s ●最大单步步长：3000s，时间分辨率：1s ●可进行多步程序运行，最多可编辑5组5步程序 ●宽输入电压适用：AC100-230V输入 产品外型尺寸：210 (W) * 265 (D) * 213 (H) |
