名称：江苏雷博科学仪器有限公司
认证：工商信息已核实
联系人：销售
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AC200-S-PP伺服匀胶机
微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
| 型号: | AC200-S-PP |
| 品牌: | LEBO(雷博) |
| 产地: | 江阴 |
| 仪器类型: | 匀胶机 |
产品介绍
产品性能介绍：
◆采用PP外壳设计，耐腐蚀易清洁
◆采用伺服电机驱动
◆内腔采用下抽风和套盘式真空吸盘
| 产品参数 ●内腔采用易清洁、耐腐蚀超高分子材料(HDPE) ●旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒 ●转动速度：0-10,000rpm(更高速可选) ●旋涂加速度：0-50,000rpm/sec(空载) ●马达旋涂转速稳定性能误差：< ±1rpm(AC200-SE); <±0.1rpm(AC200-PE) ●转速调节精度及重复性：1rpm(AC200-SE); 0.1rpm(AC200-PE) ●AC200-PE另带真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能 ●工艺时间设定：0-3,000sec/step，时间设置精度：0.1sec ●支持wafer尺寸：碎片至200mm(8”圆晶) ●旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量) 产品外型尺寸： ●480mm(D) * 360mm(W) * 350mm(H) |
