名称：江苏雷博科学仪器有限公司
认证：工商信息已核实
联系人：销售
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AC200-SE程控伺服型匀胶机
微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
| 型号: | AC200-SE |
| 品牌: | LEBO(雷博) |
| 产地: | 江阴 |
| 仪器类型: | 匀胶机 |
产品介绍
产品性能介绍：
◆ 两种型号可选：AC200-SE(标准型)、AC200-PE(高端型)
◆最新的内部紧凑设计，缩小设备尺寸
◆7"触屏控制面板操作系统，更方便操作
◆Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计适合各种材料匀胶工艺
◆标准配置转速10000rpm，可根据用户需要进行定制
◆工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部
◆机身选用耐腐蚀不锈钢，内腔采用耐腐蚀HDPE材料
◆排风和抽气系统位计于载片台底部(以利于排风效率和匀胶均一性)
◆透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发
| 产品参数说明： ● 旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒 ●转动速度：0-10,000rpm(更高速可选) ●旋涂加速度：0-50,000rpm/sec(空载) ●马达旋涂转速稳定性能误差：< ±1rpm(AC200-SE); <±0.1rpm(AC200-PE) ●转速调节精度及重复性：1rpm(AC200-SE); 0.1rpm(AC200-PE) ●具有真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能 ●工艺时间设定：0-3,000sec/step，时间设置精度：0.1sec ●支持wafer尺寸：碎片至200mm(8”圆晶) ●旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量) 产品外型尺寸： ●433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构 ●306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构(适于嵌入式手套箱或工作台内) |
